Vertical-cavity surface emitting lasers (VCSEL)

유연성 및 신뢰성을 제공하는 표면 발광 레이저

VCSEL

VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser, 수직 공진 표면 발광 레이저)은 다른 유형의 레이저에 비해 다양한 장점을 제공합니다. 이러한 장점은 다음과 같습니다.

  • 어드레싱 가능한 어레이에 설계 유연성 제공하는 표면 발광
  • 레이저 발진 파장의 낮은 온도 의존성
  • 우수한 신뢰성
  • 웨이퍼 수준 제조 공정
 

이러한 특징을 바탕으로 VCSEL은 기존의 단면 발광 레이저나 LED보다 광범위한 응용 분야에 적용할 수 있습니다.

ams OSRAM VCSEL(Vertical-cavity surface-emitting laser) 기술에는 에피택셜 구조 및 칩 설계, 애피택셜 성장, 전공정 및 후공정, 패키징, 첨단 테스트 및 시뮬레이션이 포함됩니다. ams OSRAM VCSEL은 최대 150°C의 주변 온도에서 작동합니다.

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VCSEL 자동차

VCSEL은 LIDAR 자동차 및 차내 센싱의 중요한 구성 요소입니다. VCSEL의 주요 장점은 다음과 같습니다.

  • 높은 효율 – VCSEL은 일반적으로 실온에서 45%를 달성하며 스택된 재료는 VCSEL당 6V를 지원할 수 있습니다.
  • 어드레싱 가능한 어레이 및 빔 품질 – 어드레싱 가능한 어레이는 True Solid State LIDAR에 적합합니다. 각 이미터/스트라이프는 VCSEL 어레이의 어드레싱 섹션을 순차적으로 스캔하면서 뷰 세그먼트의 하위 필드를 커버합니다.
  • 전력 확장성(고전력 패키징) – 칩의 전력을 증가시키는 방법은 여러 가지가 있으며, 그 주요 요소는 멀티스택 EPI입니다. 이 멀티스택 EPI는 스택 계층에 따라 슬로프 효율을 향상시킵니다. 예를 들면, 3 스택 EPI는 상온에서 3W/A 슬로프 효율을 달성합니다.
  • 낮은 파장 이동 – 온도에 대한 파장 이동이 0.1nm/°C 미만입니다.
  • 품질 – 자동차 LIDAR 및 차내 센싱에는 최대 AEC-Q102 1 등급 인증이 필요합니다. ams OSRAM VCSEL은 칩과 EPI의 특정 설계에 대한 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.
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VCSEL 3D 센싱

오늘날 얼굴 인식은 3D 센싱의 주요 애플리케이션이지만 유일한 애플리케이션은 아닙니다. 앞으로 3D 센싱의 적용은 더욱 확대될 것이며 VCSEL은 그것을 가능하게 하는 주요 구성 요소입니다. 다음은 3D 센싱 애플리케이션에서 VCSEL의 주요 장점입니다.

  • 높은 효율 – VCSEL은 일반적으로 상온에서 45% 이상을 달성합니다. 스택된 재료는 VCSEL당 6V를 지원하게 됩니다.
  • 디퓨저리스 일루미네이터 – 칩 레벨 마이크로 광학 어레이를 통해 빔 쉐이핑이 가능합니다. 이를 통해 패키징 크기를 줄일 수 있어 칩 비용도 절감할 수 있습니다.
  • 낮은 디버전스 – 일반적인 VCSEL 디버전스는 20o 이상이지만 ams는 내부 기술을 사용하여 10o의 낮은 디버전스 칩을 제공할 수 있습니다.
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VCSEL 기술 및 다이 구조

ams OSRAM는 VCSEL의 현재 제품 개발을 지원하면서 시장 요구 사항을 충족하고 고객에게 더 나은 제품을 제공하기 위해 VCSEL 첨단 기술을 지속적으로 연구합니다.

집적 광학: VCSEL 플립 칩의 GaAs 기판 식각에 포토 리소그래피 공정이 사용됩니다. VCSEL / 광학 어셈블리 공정이 필요 없으며 모든 것이 VCSEL 웨이퍼 팹 제조 공정을 통해 완성됩니다. 이 기술은 눈 안전 위험을 크게 줄이고 패키징 비용(유리 디퓨저 또는 서포트 필요 없음)과 칩 크기(주로 높이)도 크게 줄입니다. 방열 성능을 향상시키면서 이 기술을 사용하려면 후면 이미터가 필요하며 와이어 본드는 필요하지 않습니다.

어드레싱 가능한 어레이 기술 - 상단 발광: 어드레싱 가능한 어레이 기술은 ams OSRAM에서 개발한 또 다른 주요 기술입니다. 어드레싱 가능한 칩은 일반적으로 자동차 LIDAR 애플리케이션에 사용되며 특히, 1D 행 스캐닝과 2D 세그먼트 스캐닝에 사용됩니다. 어드레싱 가능한 칩은 소비자 제품 애플리케이션을 위한 dToF에도 사용됩니다.​​​​​​​

장파장 VCSEL(>1000nm): ams OSRAM는 특히 비하인드 OLED를 비롯한 다양한 애플리케이션을 위해 장파장 VCSEL의 개발도 연구하기 시작했습니다.

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